Mikrosandstrahlen - Mikroreaktionstechnik - Mikrofluidik - Process Controlling

Mikrosandstrahlen als Technologie

Bereits seit Jahrzehnten ist das Fertigungsverfahren Druckluftstrahlen mit abrasivem mineralischem Strahlmittel bekannt und wird im Bereich des Maschinenbaues zur Materialbearbeitung häufig eingesetzt. Das entwickelte Mikro-Sandstrahlverfahren bietet die Möglichkeit, vielfältige Mikrostrukturen einfach und produktiv aus spröden Werkstoffen, wie Glas oder Silizium, herzustellen.

Verarbeitung bondbarer Gläser

Der Werkstoff Glas hält zunehmend Einzug im Bereich der Mikrotechnik und Sensorik. Neben definierten optischen Eigenschaften und der chemischen Beständigkeit sind vor allem die geringen Werkstoffkosten ein entscheidendes Kriterium für den Einsatz von Glas. Dem steht jedoch eine meist aufwendige und teure Bearbeitung gegenüber.

Mikrosandstrahlen von Glas

Die Werkstücke werden beim Mikrosandstrahlen mit einer Maske versehen und parallel bearbeitet. Diese Maske wird fotolithografisch erstellt, hierdurch erzielt man eine sehr enge Lagetoleranz. Beliebige laterale Strukturen können erzeugt werden. Es können alle Gläser, auch bondbare, bearbeitet werden. Die Werkstücke werden thermisch nicht belastet und sind frei von Verzug. Eine hohe Strukturdichte kann erzielt werden. Die Fertigung von „Inseln“ ist möglich. Die einmalig anfallenden Kosten und Prozeßkosten sind gering im Vergleich zu anderen Verfahren. Der Winkel der gestrahlten Konturen zur Substratoberfläche beträgt je nach zu realisierender Tiefe 70...85°, dabei werden tiefere Strukturen steiler. Die Toleranzen und Oberflächenqualitäten des Verfahrens sind vergleichbar mit dem Ultraschallbohren.