Mikrosandstrahlen

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Bereits seit Jahrzehnten ist das Fertigungsverfahren Druckluftstrahlen mit abrasivem mineralischem Strahlmittel bekannt und wird im Bereich des Maschinenbaues zur Materialbearbeitung häufig eingesetzt. Das entwickelte Mikro-Sandstrahlverfahren bietet die Möglichkeit, vielfältige Mikrostrukturen einfach und produktiv aus spröden Werkstoffen, wie Glas oder Silizium, herzustellen.

 

Bearbeitung vielfältiger Werkstoffe

Im Gegensatz zur Laserbearbeitung, welche aufgrund der induzierten thermischen Spannungen nur die Bearbeitung von hochwertigem Quarzglas zulässt, ermöglicht das Mikro-Sandstrahlverfahren die Bearbeitung von allen Glassorten - von edlen, alkalifreien Gläsern bis hin zu Fensterglas. Auch Keramik und Halbleiter sind geeignet.

 

Maßhaltigkeit der Produkte

Durch die Bearbeitung bei Raumtemperatur ist das fertige Werkstück frei von Verzug und somit maßhaltig. Dies ist ein entscheidender Vorteil gegenüber Verfahren, bei denen eine Gefügeänderung durchlaufen wird, z.B. Prägen von Keramik oder Strukturierung von fotosensiblem Glas. Hier muß eine Toleranz durch ungleichmäßiges Schwinden berücksichtigt werden.

 

Produktiv durch parallel Bearbeitung

Die parallele Bearbeitung des gesamten Werkstücks ermöglicht eine äußerst produktive Fertigung.

 

Vielfältige Designs

Möglich sind Durchgangsbohrungen oder Kanäle hoher Anzahl nahezu beliebiger Kontur. Die Tiefe und die Auflösung ist durch das Strahlmittel und die Maskierung begrenzt.

 

Anwendungen

Gehäuse für diverse Bauelemente Elektrische Durchkontaktierungen z.B. für Spezialsubstrate Mikrofluidische Strukturen Beschriftungen


Beispiel Waferbearbeitung